芯片制造工艺流程

 时间:2024-10-14 01:53:17

1、制作晶圆。使用晶圆切片机将硅晶棒切割出所需厚度的晶圆。

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2、晶圆涂膜。在晶圆表面涂上光阻薄膜,该薄膜能提升晶圆的抗氧化以及耐温能力。

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3、晶圆光刻显影、蚀刻。使用紫外光通过光罩和凸透镜后照射到晶圆涂膜上,使其软化,使用溶剂将其溶解冲走,使薄膜下的硅暴露出来。

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4、离子注入。使用刻蚀机在裸露出的硅上刻蚀出N阱和P阱,并注入离子,形成PN结(逻辑闸门);通过化学和物理气象沉淀做出上层金属连接电路。

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5、晶圆测试。经过上面的几道工艺,晶圆上会形成一个个格状的晶粒。通过针测的方式对每个晶粒进行电气特性检测。由于每个芯片的拥有的晶粒数量是非常庞大的,完成一次针测试是一个非常复杂的过程,这要求在生产的时候尽量是同等芯片规格的大批量生产,毕竟数量越大相对成本就会越低。

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6、封装。将制造完成的晶圆固定,绑定引脚,根据用户的应用习惯、应用环境、醍祈喊廴市场形式等外在因素采用各种不同的封装形式;同种芯片内核可以有不同的封装形式,比如:DIP、QFP、PLCC、QFN 等等。

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