Tanner L-edit 阵列

 时间:2026-02-13 20:17:52

1、打开软件,画出你需要的图案。

这里简单画了一个矩形作为示范。

这个cell是“cell0”

Tanner L-edit 阵列

2、从菜单里面点击“Cell”-->“New”,创建一个新的cell。

或者使用快捷键“N”,也可以创建一个新的cell。

在“Cell name”里面给它命名,这里写的“copy”。

选择“打开新的窗口”,之后点击“确定”。

Tanner L-edit 阵列

3、在新的cell“copy”里面,用快捷键“I”,出来一个新的窗口。

在“Instance name”后面输入名字,这里的是“array”。

Tanner L-edit 阵列

4、步骤三之后,能在Cell“copy”里面看到一个图案,就是示例的“array”。

鼠标选中“array”后,同时按住“Ctrl”和“E”,出现“Edit Object”窗口。在这个窗口中进行阵列参数的设置和调整。

比如设置阵列的个数“Repeat Count”。

阵列个数分X和Y两个方向,“Delta”是每个图案之间的距离。

这里设置的是X方向4个,Y方向3个,距离是20微米。

Tanner L-edit 阵列

5、根据设置的参数,最后得到一个4*3的阵列图。

可以随时用“Ctrl”+“E”调出参数设置的窗口进行调整,得到不同的阵列。

Tanner L-edit 阵列

6、在“Window”中打开“Cell0”,对原来的图案进行修改。

再从“window”中打开“Copy”,可以看到阵列的图案也会跟着发生改变。

Tanner L-edit 阵列

Tanner L-edit 阵列

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