清洗用超纯水设备主要采用的是将电渗析与离子交换有机结合的技术，可以有效的去除污染物以及深度除盐，清洗用超纯水设备是根据特殊需求设计生产的新型水处理设备，可以根据实际用量，调整设备的出水量，避免造成不必要的浪费。
清洗用超纯水设备常用的三种工艺
1、 清洗用超纯水设备常用的三种工艺： 1、采用离子交换方式，其流程如下： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点。 第一种采用离子交换树脂其优点在最初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏性。
2、 2、采用两级反渗透方式，其流程如下： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透→PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点。 第二种采用两级反渗透设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但无须树脂再生。其缺点在于相关膜原件需定期清洗或更换，水质相对来说不是太高，大都只能做到1us/cm左右，所以在水质要求更高的时候常采用一级反渗透后面再用混床(阴阳复床)把关。
3、 3、采用EDI方式，其流程如下： 原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点。 第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置，这是目前制取超纯水比较经济和环保的超纯水设备制备工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在最初投资相对以上两种方式过于昂贵。
