1、真空泵温太高
1.被抽气体温度过高。应让气体冷却后再进入真空泵内，2.吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换，3.真空泵冷却水流最不够。应加大冷却水流量，4.装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。
2、真空泵油有问题
1.油位过低。应加足油量到油标中心线，2.油被玷污，油质变坏。应更换新油。3.油的牌号不符。应换规定牌号的真空泵油，4.油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。应检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。
3、转子弹簧变形或折断及旋片动作不灵
应整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好。
4、真空泵运转中摩擦发热
温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。应通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。
